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RLE-RI04 光学薄膜测量综合实验
光学薄膜测量综合实验

RLE-RI04 光学薄膜测量综合实验

        伴随着21世纪初光电子技术的迅猛发展,光学薄膜器件的应用向着性能要求和技术难度更高、应用范围和知识领域更广、器件种类和需求数量更多的方向迅速发展。为了使学生适应发展需求、拓展知识范围、增加知识深度、开阔视野和提升能力,降光科技开发了光学薄膜测量综合实验,针对市场上常用的镀膜片进行研究,从镀膜的原理到实际样品的测试,逐步深入,是学生了解光学镀膜原理和应用的良好实验平台。


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1.光源组件:

光谱范围:360~2500nm,输出灯泡:20Watts(6mW after 400umfiber),稳定性:0.2% RMS,漂移:0.3% per hour,稳定时间:15min,寿命:2000hrs(灯泡),色温:3000K,工作温度:5~40℃,供电:220V/AC,输出方式:SMA905,工作模式:恒流、缓启动功能。

2.光纤光谱仪:

波长范围:350~1000nm;光学分辨率:1nm;狭缝:25μm;光纤连接器:SMA905;探测器:2048像元阵列CCD,每个像元14×200μm;全光谱;A/D分辨率:12bit;积分时间:4ms~6.5s;USB通讯与供电,无需外部电源;通过CE认证;具备外触发功能;功耗:250mA,5VDC;尺寸:91×60×34.5mm;重量:0.3kg。

3.薄膜测试样品:

减反射膜:镀单层氟化镁,全波段增透,透过率增加3%;

介质高反膜:最大反射率95%,基材:青板;45°入射;

二向色镜:透红绿反蓝,透红反绿;S1面AR膜420-680nm@R<1%,s2面二向分光膜;工作波段透射平均值t>95%,工作波段反射平均值R>95%;

带通滤光片:IAD多层介质硬膜,波峰透过T>85%,带外截止深度OD2~OD4;

分光镜:工艺方式IAD多层介质硬膜;S1面AR膜工作波段镀AR膜,R<0.5%;S2面分光膜;工作波段镀分光膜,误差±2%。

4.辐射式积分球:

使用高反射率漫反射涂料Spectraflect,有效光谱范围:350~2400nm,反射率>98%@600nm,热稳定性100℃,激光损伤阈值1.7J/cm2 ,内径50mm,两开口,采样口配置防尘盖和SMA905适配器,矩形外形设计,便于加持使用。

5.反射式光纤:

探头端部采用6包1光纤束设计,6根照明光纤,中央1根光纤收集反射光;光纤芯径:400μm;数值孔径:0.22;长度:1.2m;铠甲护套;SMA905接头。

6.光纤准直镜:

适用波段:200~2500nm,Φ6mm通光口径,SMA905接口,焦长12.7mm,带微调;

7.光纤跳线:

光纤芯径:400μm;数值孔径:0.22NA;长度:100±10cm;3mm PVC橘黄护套保护;SMA905接头。

8.软件:

8-1、薄膜测厚软件:包含光谱预处理方法、回归算法、拟合算法、傅立叶变换信号处理算法、最小二乘算法,分步测量引导,薄膜测量厚度范围50nm~50μm;

8-2、镀膜仿真与设计软件组件

1)主界面4大功能分区,包括单层膜、减反射膜、介质高反膜和滤光片;

2)均可设置基底、介质和介质折射率,改变参数,反射率透过率曲线实时更新。

9.实验手册及保修卡。


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